Is iad pillíní snasta na gabhálais lárnacha a chinneann cáilíocht dromchla na sliseog sa phróiseas snasta meicniúil ceimiceach (CMP). Tá siad comhdhéanta go príomha d'ábhair cosúil le cúr polúireatán, a bhfuil microstructure scagach agus friotaíocht ard-chaitheamh acu. Áirítear ar a fheidhmeanna lárnacha aistriú aonfhoirmeach brú, stóráil sreabhach snasta, agus fáil réidh le hiarmhair imoibrithe. Tríd an cruas a choigeartú, is féidir an aonfhoirmeacht i-múnla (WID) agus in- aonfhoirmeacht sliseanna an wafer a bharrfheabhsú, faoi seach. Bíonn tionchar díreach ag dearadh an patrún groove ar éifeachtúlacht dáileacháin an leachta snasta. Feabhsaíonn an groove gathacha an ráta bainte ábhar, agus déanann an groove fáinne an bailchríoch dromchla a bharrfheabhsú.
Cinntear feidhmíocht an eochaircheap snasta ag 7 gcroí-tháscairí :
1.Density: Tionchar aige ar an méid dífhoirmithe
2.Hardness: Rialáil éifeachtacht meilt
3.Thickness: chinneann an aonfhoirmeacht brú
Patrún 4.Groove: dáileadh leachtach a bharrfheabhsú
Paraiméadair 5.Groove: leithead / doimhneacht difear acmhainn stórála
Sonraíochtaí trastomhas 6.Outer: is gá a chur in oiriúint do mhéid an trealaimh
Comhdhéanamh agus struchtúr eochaircheap snasta polúireatán
Is gnách go n-úsáideann pillíní snasta polúireatán polúireatán ardfheidhmíochta mar an príomh-ábhar.Is cineál polaiméire ard-mhóilíneach é polúireatán le dea-leaisteachas, friotaíocht caitheamh agus cobhsaíocht cheimiceach.
Cuimsíonn a struchtúr go ginearálta ciseal snasta agus ciseal tacaíochta. Tá an ciseal snasta i dteagmháil dhíreach leis an ábhar snasta agus ní mór tréithe oiriúnacha cruas, roughness agus porosity a bheith aige chun éifeacht snasta éifeachtach a bhaint amach; imríonn an ciseal tacaíochta ról den chuid is mó chun an ciseal snasta a thacú agus a shocrú, agus ag an am céanna cuidiú le brú snasta a tharchur agus cobhsaíocht iomlán an eochaircheap snasta a chothabháil.
Saintréithe feidhmíochta pillíní snasta polúireatán
Leaisteachas ard: is féidir leis dromchla an ruda snasta a fheistiú níos fearr, agus is féidir fiú dromchlaí cuartha casta a snasú go cothrom, ag laghdú an bhrú áitiúil atá ró-mhór nó ró-bheag le linn phróiseas snasta CMP, rud a fheabhsóidh an caighdeán snasta.
Frithsheasmhacht ardchaitheamh: Le linn an phróisis snasta fadtéarmach, is féidir leis a chruth agus a fheidhmíocht féin a chothabháil agus níl sé éasca le caitheamh, rud a leathnaíonn saol seirbhíse an eochaircheap snasta agus a laghdaíonn an costas úsáide.
Maoile ard: Is féidir leis maoile an dromchla snasta a chinntiú, atá riachtanach chun comhpháirteanna optúla ardchruinneas, sliseanna leathsheoltóra, etc. a phróiseáil, agus is féidir leis na ceanglais dhian maidir le cruinneas dromchla sna réimsí seo a chomhlíonadh.
Cobhsaíocht ard: Faoi choinníollacha comhshaoil éagsúla (cosúil le hathruithe teochta agus taise, etc.), is féidir leis an eochaircheap snasta polúireatán cobhsaíocht a fheidhmíochta a choinneáil fós agus comhsheasmhacht an éifeacht snasta a chinntiú.