Tugtar an tseoid choróin ar thionscal nua-aimseartha ar mhonarú sliseanna agus is tionscal ardleibhéil é freisin a bhfuil an tSín ag díriú air.
Cé go bhfuil réimsí iarratais na n-ábhar polúireatán comhchruinnithe go príomha i dtionscail cosúil le insliú foirgneamh, troscán agus fearais, gluaisteán, bróga agus éadaí, tá scáth ábhar polúireatán ann freisin i ndéantúsaíocht sliseanna - mar pads snasta CMP.
Forbraítear CMP ar bhonn snasta ceimiceach agus snasú meicniúil, ach ag an am céanna sáraíonn sé na heasnaimh a bhaineann le snasú meicniúil traidisiúnta agus snasú ceimiceach.
Áirítear le trealamh CMP trí mhór-mhodúl: snasú, glanadh agus tarchur. Le linn na hoibríochta, cuireann an ceann snasta brú ar dhromchla an wafer a snasú i gcoinne an eochaircheap snasta garbh, agus déantar planarization domhanda a bhaint amach le cabhair ó chreimeadh leachtach snasta, cuimilte cáithníní, cuimilte eochaircheap snasta, etc.
Áirítear ar an trealamh agus na hábhair inchaite a úsáidtear i dteicneolaíocht CMP: meaisín snasta, sciodar snasta, stuáil snasta, trealamh glantacháin iar-CMP, braite críochphointe snasta agus trealamh rialaithe próisis, trealamh cóireála agus tástála dramhaíola, etc.
Is iad meaisín snasta, sciodar snasta agus eochaircheap snasta na trí phríomhghné den phróiseas CMP. Cinneann a bhfeidhmíocht agus a gcomhoiriúnú frithpháirteach an leibhéal réidh dromchla is féidir le CMP a bhaint amach. Sa phróiseas snasta, is iad an dá ábhar is tábhachtaí ná sreabhán snasta agus ceap snasta.
Ní mór go mbeadh dea-fhriotaíocht creimeadh, hidreafaileacht agus airíonna meicniúla ag pillíní snasta CMP. Is iad na cinn is coitianta a dhéantar as cúr polúireatán docht cheallacha le patrún cúng, grooves cóimheas ard-ghné. Tá dea-elasticity agus friotaíocht caitheamh ag polúireatán, agus féadann sé feidhmíocht réasúnta seasmhach a choinneáil faoi ghníomh scríobaigh leanúnach. Ag an am céanna, le linn an phróisis snasta, is féidir leis na micropores (airíonna meicniúla agus airíonna scagach uisce-ionsú) ar dhromchla an eochaircheap snasta polúireatán cúr docht dromchla an eochaircheap snasta a mhaolú agus a garbh, agus féadann siad cáithníní scríobacha a choinneáil sa sreabhach snasta.
Is féidir leis na micropores seo ábhair bhaint próiseála a bhailiú freisin, sreabhán snasta a iompar, agus creimeadh ceimiceach a chinntiú, atá tairbheach chun aonfhoirmeacht snasta agus éifeachtúlacht snasta a fheabhsú.
Clibeanna Te: polúireatán le haghaidh ceap snasta cmp, polúireatán tSín do mhonaróirí ceap snasta cmp, soláthraithe, monarcha
